氟化物分析仪
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*常见气体氟化物:碳酰氟(Carbonyl fluoride/COF2),氟化氢(Hydrogen fluoride/HF), 氟甲烷(Methyl fluoride /CH3F),六氟化硫(Sulfur hexaflouride/SF6) ,硫酰氟(Sulfuryl flouride/SO2F2).
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