常用残余气体分析仪
Residual Gas Test
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残余气体分析仪,残留气体分析仪,残余气体分析仪器
规格
技术参数
用途
有机气体残余气体检测仪
HBD5Gas2290
55ppb-
普适型。便携式残余气体浓度检测,一般适合置换系统常压检测,或真空系统在真空泵出口检测。
有机气体残余气体浓度计
TBD5Gas2290
55ppb-
普适型。残余气体浓度连续监测,一般适合置换系统常压检测,或真空系统在真空泵出口检测。
有机气体残余气体在线监测系统
CGA2290
55ppb-
普适型。残余气体浓度连续监测
,一般适合置换系统常压检测,或真空系统在真空泵出口检测。
在线气体浓度计
TCD2220
0.01-100%
普适型。残余气体浓度连续分析。热导率气体分析仪主要用于二元气体或准二元混合气体的相对浓度。对氢气或氦气有较高的选择性。 可在低真空系统直接安装。
残余气体分析仪
四极质谱仪
QMS2740
CH4:10ppb;CO2:10ppb; N2:100ppb;CO:100ppb;
H2:100ppb;O2:100ppb
用于在线监测的真空设备,主要用来检测真空腔中的气体成分和气体浓度。可以达到百万量级的动态范围,优于1amu的分辨率,5×10-4Torr的探测极限
。主要用于氮气、氢气等光学惰性双原子气体。
微量气体检测系统
LGA4812-39370
ppm~%
普适型。可用于对紫外有吸收的各种残余气体在线监测,可在真空系统直接安装。
微量气体检测系统
LGA4812-6060
ppm~%
普适型。可用于各种有机碳氢化合物残余气体在线监测,可在真空系统直接安装。
微量气体检测系统
LGA4821
ppm~%
选择性监测。可用于特定残余气体在线监测,可在真空系统直接安装。
微量气体检测系统
PGA4160
ppm~%
选择性监测。可用于特定残余气体在线监测,可在真空系统直接安装。
残余气体分析仪